Olá!
Tente o seguinte:
oXml:xPathRegisterNs("ns", "http://www.portalfiscal.inf.br/cte") // Registre o Namespace
cUf := oXml:xPathGetNodeValue("/ns:cteProc/ns:CTe/ns:infCte/ns:ide/ns:cUF") // Faça a pesquisa
Dessa forma o seu exemplo deve funcionar.